MAGICSシリーズ M6640S/M6641S
特長
高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した欠陥検査装置
既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、微小欠陥に特化した新欠陥検出回路を搭載
MoSi膜やCr膜上のピンホール欠陥の感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
M6641Sは、Dense Scan Mode（より高感度な検査モード）とLine & Spaceのパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効
カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRPなどに対応が可能
用途
Qzサブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、レジスト塗布済みマスクブランクスの検査
欠陥のレビュー
仕様
| 検査光源波長 | 532nm |
| 検出感度 | φ50nm（クォーツ基板上のPSL、ノーマルモード） |
| 検査時間 | 12分/枚（ノーマルモード、検査エリア142mm×142mm） |
| 対応基板サイズ | 6025 |
2007年にマスクブランクス欠陥検査装置M6640/41を発売し、すでに多くのマスクブランクスメーカーでの全数検査およびマスクショップでの受け入れ検査やプロセス管理で活用されております。一方、EUVリソグラフィー実用化の遅延で、フォトマスクの微細化が進み、マスクブランクスにおいても更なる高感度検査による品質の管理、向上が急務となっております。
こうした次世代のニーズに対応すべく、この度当社は、高スループットを維持しながら、高品質マスクブランクスのクォーツサブストレートの欠陥検査のみならず、各種成膜工程の欠陥検査およびレジスト膜の欠陥検査に対しても高検出感度を実現した最新鋭機M6640S/41Sを開発しました。
M6640S/41Sは、M6640のプラットフォームを用い、新規開発の欠陥検出回路により、微小欠陥への感度向上を実現しています。スループットも従来機と同等の性能を有し、また、EUVL向けマスクブランクスについても、マルチレイヤー層、アブゾーバー層の欠陥の高感度検査を可能とし、Dual Podカセットにも対応しています。
