OPTELICS AI²

在半导体器件市场中，功率器件、5G、HPC等各个领域的需求持续增长，半导体器件制造工艺需要持续的产品开发来提升性能。利用新设计、新材料的器件商业化，需要跨部门解决众多课题，包括样机评估、量产时的质量管理、为提高良品率而进行的工艺改进等。

"AI²"能够从自动缺陷检测到缺陷审查、三维形状测量，一台设备即可应对，从开发到生产的各个场景都能发挥作用。

本设备整合了我司核心技术 —— 共聚焦光学系统、在半导体检测设备研发中积淀的自动化检测软件，以及全新设计的高速运行硬件，兼具高通量高速检测功能，与共聚焦显微镜实现的高倍率形貌测量功能。同时，搭载基于Deep Learning的 AI 检测技术，可提供高精度图像分类、带图案晶圆检测、特定缺陷提取等高端检测功能。